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UHV磁控濺射源
瀏覽器自帶分享功能也很好用哦~UHV磁(ci)控(kong)濺(jian)射(she)源(yuan)是(shi)高(gao)質(zhi)量(liang)的(de)磁(ci)控(kong)濺(jian)射(she)源(yuan)，用(yong)於(yu)超(chao)高(gao)真(zhen)空(kong)應(ying)用(yong)的(de)圓(yuan)形(xing)磁(ci)控(kong)管(guan)，可(ke)以(yi)單(dan)獨(du)提(ti)供(gong)，也(ye)可(ke)以(yi)集(ji)成(cheng)到(dao)定(ding)製(zhi)的(de)真(zhen)空(kong)係(xi)統(tong)中(zhong)。這(zhe)些(xie)圓(yuan)形(xing)磁(ci)控(kong)濺(jian)射(she)源(yuan)與(yu)所(suo)有(you) UHV 係統兼容。
產品詳情
主要特點：
可烘烤至 250°C（無需移除磁鐵）
高達 40% 的出色靶材利用率
用於磁性材料的標準和強度磁體
平衡或不平衡磁體配置的選項
簡單的卡口夾，便於直接安裝目標
包括手動或氣動控製快門之間的選擇
可用的濺射靶尺寸：1 英寸、2 英寸和 3 英寸
用戶友好的設計，帶有易於更換的磁鐵
可定製的真空長度
兼容 DC、RF、脈衝直流（單極或雙極）和 HiPIMS 電源
規格
| 恒星源 | 1.0″ | 2.0″ | 3.0″ |
| 安裝法蘭 （CF （O.D.） | 4.5 英寸 | 6.0 英寸 | 6.0 英寸 |
| 114 毫米 | 152 毫米 | 152 毫米 | |
| NW63CF | NW100CF | NW100CF | |
| 兼容 UHV | 是的，可在高達 250°C 的溫度下烘烤（無需移除磁鐵） | ||
| 真空長度 | 200 毫米或 300 毫米 – 可根據要求提供特殊長度 | ||
| 源頭的真空直徑 | 45 毫米 | 72 毫米 | 93 毫米 |
| 目標大小 | 1.0 英寸（25 毫米） | 2.0 英寸（50 毫米） | 3.0 英寸（75 毫米） |
| 目標物厚度（使用標準磁鐵的非磁性目標物） | 更大 3 毫米 | 更大 3 毫米 | 更大 3 毫米 |
| 目標物厚度（帶有強磁鐵的非磁性目標物） | 不適用 | 更大 7 毫米 | 更大 7 毫米 |
| 目標物厚度（帶有強磁鐵的磁性目標物） | 不可用 – | 更大 1 毫米 | 更大 2 毫米 |
| 0.4mm，帶標準 | |||
| 磁性元件 | |||
| 磁鐵 | 對於磁性或非磁性材料，平衡或不平衡，用戶可以輕鬆 | ||
| 更換 | |||
| 電源 | 直流、射頻、脈衝直流（單極或雙極）、HiPIMS | ||
| 快門 | 一體式手動或可選氣動操作 | ||
| 冷卻 | 更小水流量為 1 I/min | ||
UHV磁控濺射源
UHV磁(ci)控(kong)濺(jian)射(she)源(yuan)是(shi)高(gao)質(zhi)量(liang)的(de)磁(ci)控(kong)濺(jian)射(she)源(yuan)，用(yong)於(yu)超(chao)高(gao)真(zhen)空(kong)應(ying)用(yong)的(de)圓(yuan)形(xing)磁(ci)控(kong)管(guan)，可(ke)以(yi)單(dan)獨(du)提(ti)供(gong)，也(ye)可(ke)以(yi)集(ji)成(cheng)到(dao)定(ding)製(zhi)的(de)真(zhen)空(kong)係(xi)統(tong)中(zhong)。這(zhe)些(xie)圓(yuan)形(xing)磁(ci)控(kong)濺(jian)射(she)源(yuan)與(yu)所(suo)有(you) UHV 係統兼容。
產品詳情
主要特點：
可烘烤至 250°C（無需移除磁鐵）
高達 40% 的出色靶材利用率
用於磁性材料的標準和強度磁體
平衡或不平衡磁體配置的選項
簡單的卡口夾，便於直接安裝目標
包括手動或氣動控製快門之間的選擇
可用的濺射靶尺寸：1 英寸、2 英寸和 3 英寸
用戶友好的設計，帶有易於更換的磁鐵
可定製的真空長度
兼容 DC、RF、脈衝直流（單極或雙極）和 HiPIMS 電源
規格
| 恒星源 | 1.0″ | 2.0″ | 3.0″ |
| 安裝法蘭 （CF （O.D.） | 4.5 英寸 | 6.0 英寸 | 6.0 英寸 |
| 114 毫米 | 152 毫米 | 152 毫米 | |
| NW63CF | NW100CF | NW100CF | |
| 兼容 UHV | 是的，可在高達 250°C 的溫度下烘烤（無需移除磁鐵） | ||
| 真空長度 | 200 毫米或 300 毫米 – 可根據要求提供特殊長度 | ||
| 源頭的真空直徑 | 45 毫米 | 72 毫米 | 93 毫米 |
| 目標大小 | 1.0 英寸（25 毫米） | 2.0 英寸（50 毫米） | 3.0 英寸（75 毫米） |
| 目標物厚度（使用標準磁鐵的非磁性目標物） | 更大 3 毫米 | 更大 3 毫米 | 更大 3 毫米 |
| 目標物厚度（帶有強磁鐵的非磁性目標物） | 不適用 | 更大 7 毫米 | 更大 7 毫米 |
| 目標物厚度（帶有強磁鐵的磁性目標物） | 不可用 – | 更大 1 毫米 | 更大 2 毫米 |
| 0.4mm，帶標準 | |||
| 磁性元件 | |||
| 磁鐵 | 對於磁性或非磁性材料，平衡或不平衡，用戶可以輕鬆 | ||
| 更換 | |||
| 電源 | 直流、射頻、脈衝直流（單極或雙極）、HiPIMS | ||
| 快門 | 一體式手動或可選氣動操作 | ||
| 冷卻 | 更小水流量為 1 I/min | ||
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