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自動AI宏觀晶圓檢測
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將檢查攝像頭整合到SPPE和SPPE-SORT設備中,以自動檢查晶片的任何方麵。
一個低成本、小型化的AI視覺檢測模塊,旨在無縫集成到現有的SPPE和SPPE-SORT係列工藝設備中,為其增加智能化的晶圓宏觀狀態“哨兵”功能,實現 “檢測即服務”。
產品詳情

自動AI宏觀晶圓檢測

將檢查攝像頭整合到SPPESPPE-SORT設備中,以自動檢查晶片的任何方麵。

Cognex InSight ViDi AI/深度學習檢測

完全通用的晶圓檢測

低成本、占地麵積小的宏觀檢測解決方案——設計用於輕鬆插入晶圓廠工藝步驟,以允許使用前列技術進行在線晶圓檢測

按插槽編號顯示通過/失敗結果

設計用於檢測大於0.5mm的宏觀缺陷(劃痕、不需要的工藝標記、不想要的宏觀特征、CMP誤差)

Model

Wafer Size

Description

SPPE*

SPPE*SORT

150/ 200 mm

Wafer Inspection Cameras for SPPE*   &SPPE*SORT series



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低成本、占地麵積小的宏觀檢測解決方案——設計用於輕鬆插入晶圓廠工藝步驟,以允許使用前列技術進行在線晶圓檢測

按插槽編號顯示通過/失敗結果

設計用於檢測大於0.5mm的宏觀缺陷(劃痕、不需要的工藝標記、不想要的宏觀特征、CMP誤差)

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SPPE*SORT

150/ 200 mm

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