MDA-400M-6光刻機

MDA-400M-6光刻機又名：掩模對準曝光機，曝光係統，光刻係統
，光刻機，紫外曝光機等

；

MIDAS為全球先進的半導體設備供應商，多年來致力於掩模對準光刻機和勻膠機研發與生產
，並且廣泛應用於半導體
、微電子、生物器件和納米科技領域；該公司是目前世界上較早將光刻機商品化的公司之一
，擁有

雄厚的技術研發力量和設備生產能力；並且其設備被眾多企業、研發中心

、研究所和高校所采用；以優異的技術、精湛的工藝和良好的服務
，贏得了用戶的青睞。

產地：韓國MIDAS公司
，能做到圖形化藍寶石襯底（PSS）光刻機，高性價比。

型號：MDA-400M-6光刻機

易於操作和安裝
，處理各種尺寸的基板，PLC操作，PC控製

•手動操作

•掩模版尺寸高達7英寸

•基板尺寸為6英寸圓形

•均勻光束尺寸6.25*6.25英寸

•光源：紫外線燈
，350 W

•光束波長350~450 nm

•光束均勻性<±3%

•365 nm強度~25 mW/㎠

•手動對準

•對準精度1 um

•操作模式：軟、硬
、真空接觸和接近

•工藝分辨率1 um@1 um PR厚度

，真空接觸

•重量（kg）150

•尺寸（mm）1080（寬）*1060（深）*1580（高）