非接觸式全自動曲率及薄膜應力測試儀，全自動二維或三維測量彎曲
、弧度、坡度和表麵曲率，軟件模塊用於計算矽片和玻璃基板的薄膜應力（晶圓應力）。

應用：

平板掃描用於非接觸式測量各種反射表麵的平整度、波紋度、平均半徑和薄膜應力，如矽片
、鏡子、X射線鏡（Goebel鏡）
、金屬表麵或拋光聚合物。光學測量原理確保了高精度。它是基於測量垂直入射激光束沿等

kuanzhixiandefanshejiao。tongguoceliangdianzhijianfanshejiaodebianhua，keyijingquedijisuanchubiaomianxingzhuang。duiyumouxieyingyong，fanshejiaobenshenhenyouqu。yinci，ruanjianhaitigonglezhezhongceliangxuanxiang。對於半導體技術中的應用

，塗層中的薄膜應力可以通過測量塗

層前後的半徑來計算。

大測量區域：

所用測量原理的一個特點是它單獨於測量領域。因此
，在不降低精度的情況下，可以任意增大標準測量區域直徑200毫米。

測量精度高：

平板掃描具有較高的測量精度。測量係統的分辨率為0.1弧秒。表麵形狀再現性達100nm。

測量範圍大，工作距離大：

測量範圍是可以在一次掃描中測量的大箭頭高度（或小可測量曲率半徑）。平麵掃描的特點是測量範圍非常大，這是無法實現與競爭性的測量方法，如條紋幹涉儀。

因此，平麵掃描適用於測量具有強曲率的表麵
，如Goebel反射鏡

、矽片或其他。使用的光學測量原理工作時與工作距離無關，保證了較高的工作距離
，因此不存在損壞試樣的危險。

可選二維或三維測量：

可選

，根據設備類型，可以完成單線掃描或完整的3D掃描。三維掃描是由許多具有自動樣本定位的單行掃描組裝而成的。

該軟件為測量結果的圖形和數字表示提供了所有準確的可能性，如三維表示、剖麵圖和測量協議。

薄膜應力計算軟件模塊：

對於半導體技術和所有應用
，在完成表麵改性（如塗層或塗層去除）的情況下，軟件配備了用Fowkes理論計算薄膜應力的模塊。通過這種方法，平板掃描可以快速而容易地測量薄膜應力。 薄膜應力是根據塗層前後

的平均曲率半徑計算出來的。

技術參數：

再現性表麵曲率（p-v）：小於100納米

光學測量係統的分辨率：0.1弧秒

光學測量係統精度: 1弧秒

測量速度: 10毫米--30毫米/秒

z測量區域：標準直徑200 mm

試樣厚度：不限

小曲率半徑和根據掃描長度確定的箭頭高度：

200毫米：R=18米290微米，

300毫米：R=25米435微米，

500毫米：R=43米725微米。