射頻發生從2MHz到100MHz，功率從100W到10kW，帶有頻率調諧、脈衝和操作麵板，使用優異的LDMOS器件
， 到達穩定的射頻性能，滿足大多數需求的靈活用戶界麵
，高級功能是標準配置。采用較新的LDMOS

場效應管技術，可在半導體和工業鍍膜應用中的極端動態負載下可靠工作。

擁有較廣的功率和頻率範圍
，允許用戶在一個平台內滿足您的所有需求。可以較廣的配置（2, 13, 27，40和60MHz
；100W至10kW），並配備了行業前沿的組件和子組件，我們射頻發生器較大限度地提高可靠性和產量。從

高穩定射頻平台提高過程控製，可靠性穩健設計，縮短停機時間，易於集成和控製。

特征：

• 高穩定射頻

• 頻率調諧

• 電弧管理

• 脈衝

• CEX主/從

• CEX相移

• 前操作麵板

• 射頻功率放大

射頻發生器產品範圍：

• 從毫瓦到幾十千瓦的固態

• 射頻管設計從1000W---200kW

• 頻率範圍高達350MHz

• 集成固態和管設計

• 交直流電源設計

• 高壓
  、大功率

• 單相和三相設計

• 模擬電路設計

• 控製電路、故障檢測、計量等

• 信號調節

• 遙控接口

• 適配的硬件設計

• 特定於係統的自定義軟件設計

• 機械包裝

• 自定義CAD/CAM設計

• 快速成型

應用的設備：

• PECVD設備

• PVD/磁控濺射機

• 刻蝕設備

• 工業鍍膜

優勢：

• 高穩定性與控製，精確的頻率調諧功能，先進的電弧管理係統
  ，脈衝操作模式支持
  ，提升工藝控製精度。

• 可靠性與易用性
  ，穩健設計減少停機時間，易於係統集成和控製，靈活的遠程接口，直觀的前操作麵板。

• 定製化能力，適配的硬件設計，係統定製軟件開發，機械包裝個性化，CAD/CAM快速原型設計
  ，模擬電路與控製電路優化。

射頻發生器的主要用戶：

65kW CW，211MHz，水冷四極管放大器，

--------布魯克海文國家實驗室（BNL）
，國家同步加速器光源（NSLS）。

55kW CW，176MHz
，水冷四極放大器，

-------杜克大學，自由電子激光器（FEL）

4kW CW，52MHz，水冷固態放大器
，

-------布魯克海文國家實驗室（BNL），國家同步加速器光源（NSLS）

12個3.5kW CW，196MHz
，水冷固態放大器

-------布魯克海文國家實驗室BNL，相對論重離子對撞機（RHIC）

11個500W寬帶、1-30MHz、水冷
、“A”級射頻放大器


，

------布魯克海文國家實驗室（BNL）相對論重離子對撞機（RHIC）

6個20kW長脈衝，402MHz，風冷四極放大器

------勞倫斯伯克利國家實驗室（LBNL）散裂中子源（SNS）

3個80kW長脈衝，2MHz
，風冷四極放大器

-----LBL（SNS）和橡樹嶺國家實驗室（ORNL）的（SNS）

8kW CW，211MHz
，水冷固態放大器

------布魯克海文國家實驗室（BNL），國家同步加速器光源（NSLS）

2kW CW
，200MHz，風冷固態放大器-------康奈爾大學

20kW CW，27MHz，風冷固態
，移動射頻發生器-------KAI技術公司

25kW CW，18-32MHz
，自動調諧
，水冷，四極射頻放大器
，

------------Joint Institute for Nuclear Research (JINR),，（FlerovLab）

15kW CW，11-12MHz，自動調諧，水冷
，三極射頻放大器

-------------Joint Institute for Nuclear Research (JINR),（FlerovLab）

4個雙300W輸出，88-108MHz


，用於調頻發射機-----NAVAIR Spiral 3項目

12kW CW,101MHz水冷三極射頻放大器---------華中科技大學

100kW CW
，1.0MHz，水冷
，四極射頻放大器------華中科技大學

45kW CW，7.2至10.5MHz, 水冷
，三極射頻放大器--------JINR（弗萊羅夫實驗室）

15kW CW，寬帶（35-65MHz）

，固態，水冷射頻放大器--------印度ITER

120kW CW
，48MHz，水冷，四極射頻放大器-------印度的IUAC

30kW CW，97MHz，水冷
，三極管射頻放大器-----印度的IUAC

3kW CW
，13.56射頻放大器和匹配網絡----印度IPR