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自動AI晶圓邊緣檢測
批量邊緣檢查
安裝在批次ID閱讀器周圍的Cognex InSight ViDi D905相機
真正的邊緣檢查,可選正麵和背麵禁區檢查
前後攝像頭可配置為在誤處理後檢測“CMP環”
1分鍾完成邊緣檢查周期
按插槽號劃分的通過/失敗結果——SECS/GEM連接
缺陷尺寸>1.2mm
Model | Wafer Size | Description |
IDWR-EDGE | 150/ 200 mm | Batch Edge Inspection |
自動AI晶圓邊緣檢測
批量邊緣檢查
安裝在批次ID閱讀器周圍的Cognex InSight ViDi D905相機
真正的邊緣檢查,可選正麵和背麵禁區檢查
前後攝像頭可配置為在誤處理後檢測“CMP環”
1分鍾完成邊緣檢查周期
按插槽號劃分的通過/失敗結果——SECS/GEM連接
缺陷尺寸>1.2mm
Model | Wafer Size | Description |
IDWR-EDGE | 150/ 200 mm | Batch Edge Inspection |
