NANO IMPRINT 納米壓印

納米壓印係統

Midas推出了一個台式納米壓印平台。該平台提供了一個帶有微定位裝置的機械平台
，用於安裝納米壓印室



、UV固化源和校準顯微鏡。

它既可以作為納米壓印係統，也可以作為傳統的掩模對準器，同時為您的整個壓印過程提供可編程的自動控製。

獨有的特點：

分辨率低於10nm，產率為99%
，

支持硬模(如矽模）和軟模（如PDMS），

可變的模具和基板尺寸提供了便利性和靈活性，

自動釋放過程可防止分離過程中模具/基板損壞，並較大限度地提高每個印記的產量，

多種應用的多功能流程，

光學設備、顯示器、數據存儲

、生物醫學器件
、半導體IC
、化學合成和先進材料，

帶觸摸屏用戶界麵的可編程PLC允許通過定製參數進行過程控製,通過帶觸摸屏的PLC（可編程邏輯控製器） 進行過程控製，允許用戶定製並存儲複雜的工藝參數
，確保每次操作的精確重複，減少了人為誤差
，

UV固化納米壓印抗蝕劑對硬度或厚度沒有限製，與傳統光刻工藝兼容。

該係統精細定位於需要快速原型開發、小批量生產及前沿研究的高校實驗室、研究所和高科技企業研發中心。其廣泛的應用適應性覆蓋了從光學器件
、顯示技術、生物醫學芯片到半導體IC等多個前列領域，是連接納米

科學研究與產業應用轉化的理想橋梁。