MINILAB

小型實驗室配有旋塗機、熱板、去離子水係統和工藝槽。該設備能有效地對大學和研究中心的4英寸樣品進行光刻。

內置排氣、排水槽和規範管路
，能統一處理有機溶劑廢氣與廢液
，保障操作安全，符合實驗室安全標準。

•組成：旋塗機（Spin-1200T）
、熱板
、D.I水係統

•排水管

•排水槽

•排氣

•氮氣吹掃

•Deionized Water Spray Gun

•尺寸：1300（寬）*750（深）*1800（高）

MINILAB通過精心設計


，將微納工藝入門階段較雜亂、較耗時的設備搭建與安全管理問題打包解決，讓用戶能夠立即專注於工藝本身的學習與探索。對於旨在建立或升級本科教學實驗室
、或需要一個標準化的基礎研發

平台的機構而言，這是一個高效

、可靠且性價比較高的選擇。