MDA-20FA全自動光刻機

MIDAS SYSTEM公司開發並生產用於半導體
、MEMS
、LEDjinamijishuxiangguandeshiyanshihegongyelingyudeguangzhaoduizhunpuguangjiheshuaijiaoji，shihanguojiaozaoyanfabingshangyehuaguangzhaoduizhunpuguangjideqiye，shizhongzhiliyubuduanwanshan、增強技術型企

業的核心競爭力。

MIDAS SYSTEM公司具有專業化的設計團隊
，以客戶需要為己任，生產、供應滿足國內外企業、科研院所不斷增長的應用需求，並且提供半導體工藝相關的設備需要。

MDA-20FA型曝光機是一款MIDASgongsixinkaifadechanpin，weixiayidaiquanquyuguangkexitong。zheyixinxingbanzidonghuaduizhunpuguangpingtaijuyougenggaodezhongfuguangkejingduyijigengkekaodecaozuo，feichangshihetaocijiqitatanzhenkayingyong，tongshiMDA-12SA型半

動化光罩對準曝光機具有更高的生產能力和容易操控。

廠家鏈接：www.midas-china.com.cn

MDA-20FA操作簡單，PLC操作
，PC控製，圖像采集和數據記錄，100多個程序配方，顯微鏡位置控製係統，自動對齊標記搜索功能

類型：全自動

掩模版尺寸：大尺寸訂製

基板尺寸：大尺寸訂製

均勻光束尺寸：大尺寸訂製

紫外線光源：紫外線燈，2KW，5KW

光束波長：350~450nm

光束均勻度 <±5%

365 nm強度 2千瓦：~25毫瓦/㎠5千瓦：~45毫瓦/㎠

對齊方式：全自動

對準精度：1 um

加工方式：軟
、硬、真空接觸、接近

過程分辨率：透鏡：>3 um，反射鏡：>9 um

適用場景：

• PCB/封裝基板：製造線寬在10µm以上的高密度互連（HDI）板或載板。

• 平板顯示（FPD）：用於OLED或LCD顯示麵板的背板TFT電路製造。

• 大尺寸MEMS或傳感器陣列：例如大麵積觸控傳感器、X射線探測器麵板。

• 先進封裝：如麵板級Fan-Out封裝的重布線層（RDL）製造。