紫外光強計

紫外光強計

MIDAS紫外光強計計適用於光刻機光強度功率測量。它是新一代紫外光強計。

規格：

波長：365nm（可選：405nm/248nm）

均勻性：自動計算

測點：5~9點

電池：充電型

尺寸（mm）：80×150×45（寬×深×高）

光刻膠的曝光量（= 光強 × 時間）是決定圖形轉移成敗的關鍵參數。使用此設備定期測量，可確保曝光強度穩定，從而保證光刻線寬的一致性和工藝的重複性。通過多點掃描，能自動計算出曝光區域內的光強均勻性（通

常以百分比表示，如±3%），這比手動計算效率高得多，且減少了人為誤差。標準365nm波長完全匹配MIDAS光刻機常用的i-line汞燈或UV-LED光源。提供248nm深紫外選項是一個專業配置
，可用於校準更專業的深紫外

光刻係統或進行特殊材料的曝光研究。它與MIDAS光刻機的匹配度和數據可靠性通常較好。內置充電電池的設計使其無需外接電源，方便在實驗室或產線不同設備間移動使用。

MIDAS紫外光強計是一款專業化
、便攜式的工藝監測儀器。對於使用MIDAS光刻機的用戶而言，它是進行設備日常維護
、工藝調試和穩定性監控的必備工具。