MDA-80FA全自動光刻機
MIDAS SYSTEM公司開發並生產用於半導體
、MEMS
、LED及ji納na米mi技ji術shu相xiang關guan的de實shi驗yan室shi和he工gong業ye領ling域yu的de光guang罩zhao對dui準zhun曝pu光guang機ji和he甩shuai膠jiao機ji
，是shi韓han國guo較jiao早zao家jia研yan發fa並bing商shang業ye化hua光guang罩zhao對dui準zhun曝pu光guang機ji的de企qi業ye，始shi終zhong致zhi力li於yu不bu斷duan完wan善shan
、增強技術型企業的核心競爭力。

MIDAS SYSTEM公司具有專業化的設計團隊，以客戶需要為己任


，生產、供應滿足國內外企業、科研院所不斷增長的應用需求
，並且提供半導體工藝相關的設備需要。

MDA-80FA型曝光機是一款MIDAS公gong司si新xin開kai發fa的de產chan品pin
，為wei下xia一yi代dai全quan區qu域yu光guang刻ke係xi統tong。這zhe一yi新xin型xing半ban自zi動dong化hua對dui準zhun曝pu光guang平ping台tai具ju有you更geng高gao的de重zhong複fu光guang刻ke精jing度du以yi及ji更geng可ke靠kao的de操cao作zuo，非fei常chang適shi合he陶tao瓷ci及ji其qi他ta探tan針zhen卡ka應ying用yong，同tong時shiMDA-12SA型半動化光罩對準曝光機具有更高的生產能力和容易操控。
廠家鏈接：www.midas-china.com.cn

DA-80FA

操作簡單，PLC操作
，PC控製
，圖像采集和數據記錄，100多個程序配方，顯微鏡位置控製係統
，自動對齊標記搜索功能

類型：全自動

掩模版尺寸：上限尺寸9英寸

基板尺寸：6~8英寸

均勻光束尺寸：10.25*10.25英寸

紫外線光源：紫外線燈
，2KW

光束波長：350~450nm

光束均勻度 <±5%

365 nm強度  ~25 mW/㎠

對齊方式：全自動

對準精度：1 um

加工方式：軟
、硬、真空接觸、接近

工藝分辨率：1μm@1μm PR厚度，真空接觸