納米級離子注入係統

Q-One型
， 先進的納米級離子注入平台，具有納米級精度的確定性單離子注入的新工具。這是一種全新的設計，功能強大的FIB
，能夠以驚人的精度和前所未有的速度定位單個離子。與依賴掃描探針顯微鏡（SPM）的原

子操縱技術相比，Q-One的植入速度kuaishugeshuliangji

，keyizaijimiaozhongneiwanchengbaohanshubaiwangejingquedingweilizidezhenliezhizao
，shixianlecongshiyanshiyanshidaoshiyonghuaqijianzhizaodeguanjiankuayue。keyingyongyudanlizizhuru
，liangziqijianzhizaoyuyanjiu

，namicailiao

工程，光子係統，存儲設備等領域。

Q-One具有許多強大的功能，是製造量子器件和先進材料工程的先進係統。快速、可擴展的設備製造Q-One比SPM（掃描探針顯微鏡）技術快許多數量級，它可以在短短幾秒鍾內產生數百萬個精確定位的原子陣列。 

納米精度，Q-One具有20納米聚焦離子束和1納米光學編碼器的壓電驅動級，提供了精確離子放置。

植入多種元素
，液態金屬離子源和質量過濾柱可選擇和植入40多種不同元素。雙等離子體源也可用於氧和氮摻雜。

雙離子束，高分辨率電子柱可提供高達4nm的詳細成像，用於現場驗證和過程控製。

應用領域：

• 量子信息技術：量子計算：精確製造基於摻雜原子的固態量子比特陣列（如矽基磷原子量子比特）；量子通信：製造確定性單光子源（如基於金剛石氮-空位色心）。

• 先進材料科學：納米材料工程：以原子精度設計新型二維材料、拓撲材料的電子與光學特性；缺陷工程：在半導體中精確引入特定缺陷，以調控其光電
  
  、磁學性質。

• 新一代光電子與存儲器件：集成光子係統：在光子芯片中精確摻雜
  
  ，製造波導
  、調製器或單光子探測器；超高密度存儲：探索基於單個原子或缺陷狀態的存儲概念，向原子級存儲邁進。

成功案例：

單離子多物種低能定位項目，作為單離子多物種低能定位項目的一部分， 2018年在英國 Surrey Ion Beam Centre安裝了兩台同類儀器。Q-One係統成為英國Henry Royce研究所，納米先進材料工程新平台的主要設備。

Q-One不隻是一台離子注入機
，它是一個原子級的“物質3D打印機”和量子器件的構建平台。它將離子注入技術從傳統的、統計性的材料改性層麵
，提升到了確定性
、位點可控的原子級製造層麵。對於致力於在量子科技
、

納米科學和下一代半導體領域取得突破的研究機構與前沿企業而言，Q-One提供了將前沿理論構想轉化為實際功能器件的製造能力，是占領未來技術製高點的戰略性裝備。